সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং সরঞ্জামের জন্য কার্বন ফাইবার সমাধান

সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন সরঞ্জামগুলিতে কার্বন ফাইবার আধুনিক শিল্পের সবচেয়ে চাহিদাপূর্ণ উপাদান অ্যাপ্লিকেশনগুল একটি লিথোগ্রাফি পর্যায়, একটি ওয়েফার হ্যান্ডলিং রোবট, একটি আয়ন ইমপ্লান্টেশন বিমলাইন বা একটি মেট্রোলজি ফ্রেম তাপীয় ড্রিফ্ট, কম্পন বা কণা কার্বন ফাইবার শক্তিশালী পলিমার (সিএফআরপি), অ্যারামিড এবং প্রাক-অক্সিডাইজড ফাইবার উপাদানগুলির সাথে মিলিত, পৃথি এই গাইডটি পরীক্ষা করে কিভাবে কার্বন ফাইবার সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলি ব্যবহারে কাজ করে অংশে অংশে, ওয়েফার পর্যায় থেকে ক্লিনরুম সিলিং পর্যন্ত

1. কেন সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম কঠিন উপাদান প্রয়োজনীয়তা সেট করে

সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন একটি শিল্প যা একটি প্যারাডক্স দ্বারা সংজ্ঞায়িতঃ এটি বিশাল স্কেলে কাজ করে এবং একক ওয়েফারে দশ বিলিয়ন ট্রান্জিস্টর থাকতে পারে এবং প্রতিটি প্যাটার্নিং পদক্ষেপটি একটি ন্যানোমিটারের একটি অংশের মধ্ ওভারলে, সমালোচনামূলক মাত্রা এবং ফলন সবই মেশিনের জ্যামিতি পরিবর্তনের মুহূর্তে অবনত হয়, এবং জ্যামিতি পরিবর্তন হয় যখন কোনও কাঠামো প

এটি চারটি উপাদান প্রয়োজনীয়তা তৈরি করে যা প্রচলিত ধাতুগুলি একই সময়ে পূরণ করতে সংগ্রাম করেঃ

• মাত্রাত্মক স্থায়িত্ব: সরঞ্জামটিকে তাপমাত্রার সুইং, তাপীয় সাইকেলিং এবং দীর্ঘ অপারেটিং ঘন্টা জুড়ে তার আকৃতি ধরে তাপীয় সম্প্রসারণের গুণাঙ্ক (সিটিই) শূন্যের কাছাকাছি হতে হবে, অথবা অন্তত মেট্রোলজি রেফারেন্সের সাথে মি

• উচ্চ নির্দিষ্ট কঠোরতা: কাঠামোটিকে অবশ্যই ভর যোগ না করে বিচ্ছিন্নতা এবং কম্পন প্রতিরোধ করতে হবে যা পর্যায়টিকে ধীর করবে, সার্ভো লোড করবে, বা কম-ফ্রিকোয়ে

• পরিষ্কার: কোন আউটগ্যাসিং, কোন শেডিং, কোন ধাতব পরিধান ধ্বংসাবশেষ যা ওয়েফার পৃষ্ঠে কণা ত্রুটি হতে পারে।

• কম্পন damping এবং নিয়ন্ত্রণ ব্যান্ডউইথ: প্রতিটি পদক্ষেপের পর মেশিনটিকে দ্রুত স্থায়ী হতে হবে যাতে থ্রুপুট এবং নির্ভুলতা একে অপরের বিরুদ্ধে ব

চারজনের উত্তর দিয়েছেন সিএফপি। এর নির্দিষ্ট কঠোরতা ইস্পাত বা অ্যালুমিনিয়ামের চেয়ে বেশ কয়েকগুণ, এর সিটিই শূন্যের কাছাকাছি বা সিলিকনের সাথে মিলিত হতে পারে, এটি ক্লিনরুম রাসায়নিক পরিবে

2. কার্বন ফাইবার একটি ফ্যাব টুল ভিতরে দেখা যায়

সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলি সিস্টেমের একটি সিস্টেম এবং কার্বন ফাইবার প্রায় প্রতিটি উপ-সিস্টেমে স্থানান্তর

২.১ ওয়েফার পর্যায় এবং পজিশনিং প্ল্যাটফর্ম

ওয়েফার পর্যায়টি যে কোনও লিথোগ্রাফি বা পরিদর্শন সরঞ্জামের হৃদয়। এটি একাধিক জি-ফোর্সে ত্বরান্বিত হয়, মিলিসেকেন্ডে শত শত মিলিমিটার ভ্রমণ করে এবং পরে ন্যানোমিটারের নির্ভুলতা প্রতিটি কিলোগ্রাম পর্যায়ের ভর ত্বরান্বিত এবং তারপর ব্রেক করা উচিত, তাই ভরটি সরাসরি হারিয়ে যাওয়া থ্রুপুট এবং অপচয় শক্তিতে রূপান্তরিত হয়। একটি কার্বন ফাইবার পর্যায়ের কাঠামো, সাধারণত কার্বন ফাইবার প্লেট এবং মিলানো সিটিই সহ

২.২ গ্যান্ট্রি এবং সেতু কাঠামো

মঞ্চের উপরে গ্যান্ট্রি বসেঃ একটি দীর্ঘ বিম যা একটি অপটিক্যাল মাথা, একটি পরিদর্শন সেন্সর বা একটি প্রোব অ্যারে সম্পূর্ণ ওয়েফার প্রস এটি একটি ক্লাসিক কঠোরতা-ওজন সমস্যা। একটি কার্বন ফাইবার গ্যান্ট্রি বিম, প্রায়শই একটি বড় বিভাগের পলট্রুড বা রোল-মোড়ানো প্রোফাইল, কাঠামোর প্রথম প্রাকৃতিক ফ্রিকো এই একক পরিবর্তন প্রকৌশলীদের উত্তেজনাপূর্ণ কাঠামোগত কম্পন ছাড়াই সরঞ্জামটি দ্রুত চালাতে দেয়, এবং এটি পুরো স্ক্যান জুড়ে মা

২.৩ মেট্রোলজি ফ্রেম এবং রেফারেন্স কাঠামো

মেট্রোলজি ফ্রেমগুলি জ্যামিতিকে সংজ্ঞায়িত করে যার বিরুদ্ধে অন্য সবকিছু পরিমাপ করা হয়, তাই তাদের স্ সিএফআরপি ফ্রেমগুলি আকর্ষণীয় কারণ তাদের সম্প্রসারণ শূন্যের দিকে টিউন করা যেতে পারে, সিলিকন ওয়েফারের নিম্ন সম্ যেখানে ফ্রেমকে গ্লাস স্কেল, লেজার ইন্টারফেরোমিটার বা ক্যাপাসিটিভ সেন্সরগুলির সাথে ইন্টারফেস করতে হবে, মিলিত-সম্প্রসারণ কার্বন ফ

২.৪ ওয়েফার হ্যান্ডলিং রোবট এবং এন্ড ইফেক্টর

ওয়েফার ট্রান্সফার রোবটগুলি উচ্চ গতিতে প্রক্রিয়া চেম্বারগুলির মধ্যে সূক্ষ্ম, ব্যয়বহুল ওয়েফারগুলিকে সরান এবং তাদের একটি কার্বন ফাইবার এন্ড ইফেক্টর ব্লেড ত্বরণের অধীনে একটি 300 মিমি ওয়েফার ফ্ল্যাট রাখতে যথেষ্ট কঠোর, স্যাগ এবং কম্পন এড়াতে যথেষ্ট হালকা এবং কণা-উত্পা একই যুক্তি ক্লাস্টার টুল জুড়ে পিন, ব্লেড হোল্ডার এবং বাহু স্থানান্তরের ক্ষেত্রে প্রযোজ্য।

2.5 ভ্যাকুয়াম চেম্বার, বিমলাইন এবং আয়ন ইমপ্লান্টেশন হার্ডওয়্যার

ভ্যাকুয়াম এবং বিমলাইন পরিবেশের ভেতরে, কার্বন ফাইবার এবং হাইব্রিড কম্পোজিট উপাদানগুলি সূক্ষ্ম সেন্সরগুলির কাছাকাছি চলমান ভ আয়ন ইমপ্লান্ট এবং ইলেক্ট্রন-বিম সিস্টেমগুলি যে কোনও চৌম্বকীয় বা পরিবাহক কাঠামোর প্রতি সংবেদনশীল যা বিমকে বিরক্ত করতে পা সাবধানে নিয়ন্ত্রিত ফাইবার আর্কিটেকচার সহ কম্পোজিট কাঠামোগুলি একটি ধাতু সমাবেশের ওজনের শাস্তি ছাড়াই

3. উপকরণ এবং তাদের নির্দিষ্ট ভূমিকা

কোন একক ফাইবার ফর্ম একটি সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম সমস্যা সমাধান করে না। সঠিক উত্তর সাধারণত একটি সংমিশ্রণ, এবং ভূমিকা বুঝতে একটি কাজ নকশা একটি ব্যয়বহুল একটি থেকে পৃথক করে।

3.1 যথার্থ কাঠামোর জন্য কার্বন ফাইবার প্লেট

মেশিন এবং ক্বাসি-আইসোট্রোপিক কার্বন ফাইবার প্লেটটি পর্যায়, বন্ধনী, স্পেসার ব্লক এবং মেট্রোলজি সদস্যদের জন্য য ক্বাসি-আইসোট্রপিক লেআপগুলি কম এবং নিয়ন্ত্রণযোগ্য সিটিই সহ পূর্বাভাসযোগ্য, ইন-প্লেন কঠোরতা প্রদান করে এবং প্লেটটি অ্যালুমিনিয়ামের মতো একই টুলিং স্প

3.2 কার্বন ফাইবার টিউব এবং Pultruded প্রোফাইল

Pultruded কার্বন ফাইবার টিউব এবং কাঠামোগত প্রোফাইল gantries, রোবট আর্ম এবং সমর্থন রেল জন্য দীর্ঘ, ধ্রুবক-বিভাগ সদস্য সরবরা Pultrusion একটি সার্টিফাইড, পুনরাবৃত্তিযোগ্য ক্রস-সেক্শন তৈরি করে, যা যখন একটি সরঞ্জাম সিরিজে নির্মিত হয় এবং প্রতিটি ইউনি টিউবগুলি হালকা, কঠোর লিঙ্কগুলির জন্য এবং কারখানার ভিতরে স্বয়ংক্রিয় উপাদান হ্যান্ডলিং সরঞ্জামগুলির

3.3 কার্বন ফাইবার Prepreg এবং ফ্যাব্রিক

যেখানে জ্যামিতি জটিল বা একাধিক একটি আকৃতির শ্রুড, একটি সেন্সর হাউজিং, একটি কন্টুর সমর্থন একটি ছাঁচের উপর স্থাপন করা কার্বন ফাইবার প্রিপ্রেগ সর্বোচ্চ এব রজন ইনফিউশন সহ শুকানো কার্বন ফাইবার ফ্যাব্রিক বড়, কম ভলিউমের অংশের জন্য আরও অর্থনৈতিক পথ সরবরাহ করে। উভয়ই ল্যামিনেটকে স্থানীয়ভাবে টিউন করার অনুমতি দেয়, ঠিক যেখানে লোড পথ এটি চায় তাতে কঠোরতা যোগ করে।

3.4 কঠোরতা এবং অন্তরণ জন্য Aramid ফাইবার

অ্যারামিড ফাইবার প্রভাব এবং ঘর্ষণ প্রতিরোধের আনে যেখানে যৌগিক অংশগুলি হ্যান্ডলিং সরঞ্জাম বা মানব অপারেটরদের স অ্যারামিড ফ্যাব্রিক এবং অ্যারামিড ফিলামেন্ট প্রায়শই হাইব্রিড ল্যামিনেটগুলিতে ব্যবহৃত হয় যাতে যৌগিক পৃষ্ঠটি চিপিং থে যেখানে একটি নকশার একটি পৃষ্ঠের প্রয়োজন যা পরিবাহক কণা ছেড়ে প্রভাব প্রতিরোধ করে, একটি অ্যারামিড-সমৃদ্ধ বাইরের স্তর একট

3.5 তাপীয় এবং অগ্নি সুরক্ষার জন্য প্রাক-অক্সিডাইজড ফাইবার

সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলিতে হিটার, চ্যাক এবং প্রক্রিয়া চেম্বার রয়েছে যা উচ্চ তাপমাত্রায় পৌঁছায় এবং আশেপাশের কাঠ প্রাক-অক্সিডাইজড ফাইবার (প্যানক্স) অনুভব করে, ফ্যাব্রিক এবং সূতা সাধারণ জৈবিক টেক্সটাইলের চার্রিং এবং অবনতি ছাড়াই শিখা প্ প্রাক-অক্সিডাইজড ফাইবার উপাদানগুলি উত্তাপিত চ্যাকগুলির চারপাশে, তাপীয় বাধাগুলিতে এবং সরঞ্জামের ঢাকার ভি

4. অ্যাপ্লিকেশন নির্বাচন ম্যাট্রিক্স

নীচের টেবিলটি সাধারণ সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামের ডিউটি পয়েন্টগুলিকে সুপারিশ করা ফাইবার পণ্য ফর্ম এবং প্রথম নির্দেশিকা চূড়ান্ত উপাদান নির্বাচন প্রকৃত লোড পথ, তাপীয় বাজেট এবং পরিষ্কারতা স্পেসিফিকেশনের বিরুদ্ধে

ম্যাট্রিক্সটি একটি প্রারম্ভিক বিন্দু, প্রকৌশলের বিকল্প নয়। কম্পন মোডের আকৃতি, তাপীয় গ্রেডিয়েন্ট এবং পরিষ্কারতা শ্রেণীকে বিবেচ

5. প্রকৌশল কেস: কেন কম্পোজিট এখানে মেটাল বিটস

সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম ক্রেতারা খুব কমই উপাদানের উপর অর্থ সঞ্চয় করার জন্য কার্বন ফাইবার তারা এটি বেছে নেয় কারণ মেশিনের পারফরম্যান্স এনভেলপটি অন্য কোনও উপায়ে পৌঁছানো যায় না।

5.1 তাপীয় স্থিতিশীলতা যা ওভারলে সৎ রাখে

ওভারলে ত্রুটি উন্নত লিথোগ্রাফিতে সবচেয়ে ব্যয়বহুল ত্রুটি শ্রেণী। একটি কাঠামো যা তাপমাত্রার সুইংয়ের উপর কয়েক মাইক্রোমিটার বৃদ্ধি পায় তা এটি প্রজেক্ট করা ছবিটি পরিবর ল্যামিনেটটি ইঞ্জিনিয়ারিং করে যাতে সিটিই শূন্যের কাছাকাছি যায়, বা রেটিকল বা ওয়েফার রেফারেন্সের সাথে মিলে যায়, কার্বন ফাইবা

5.2 থ্রুপুট জন্য কঠোরতা এবং ড্যাম্পিং

টুল থ্রুপুট কতদ্রুত একটি পর্যায় চলতে পারে এবং তারপর স্থির হতে পারে তা দ্বারা নিয়ন্ত্রিত হয়। উচ্চ নির্দিষ্ট কঠোরতা কাঠামোটিকে কম ভরে কঠোর থাকার অনুমতি দেয়, এবং যৌগিকের অন্তর্নিহিত ড্যাম্পিং অবশিষ্ট কম্পন দমন করে যা অন্যথায ফলস্বরূপ একটি মেশিন যা দ্রুত এবং আরও সঠিক উভয়ই, যা ঠিক সেই সমন্বয় যার জন্য শিল্প অর্থ প্রদান করে।

৫.৩ পরিষ্কার এবং অ-চৌম্বকীয় আচরণ

একটি ক্লিনরুমের ভেতরে, এমন একটি উপাদান যা কণাগুলি বাহির করে, ক্ষয় করে বা ফেলে দেয় তার যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য নির্ সঠিক রজন সিস্টেম এবং পৃষ্ঠ ফিনিস সহ সিএফআরপি নিষ্ক্রিয়, জংগ নয় এবং ধাতু পরিধানের ধ্বংসাবশেষ উত্পাদন করে না যা ইস্ এর অ-চুম্বকীয় চরিত্রটি ইলেক্ট্রন এবং আয়ন বিম কলামের কাছাকাছিও অপরিহার্য, যেখানে একটি ফেরোম্যাগনেটিক কা

5.4 একটি সরঞ্জাম প্রজন্ম জুড়ে জীবনচক্র খরচ

একটি ফ্যাব টুল বহু বছর ধরে চালানোর আশা করা হচ্ছে, প্রায়শই বেশ কয়েকটি প্রক্রিয়া নোড জুড়ে এবং হারিয়ে যাওয়া ওয়েফার একটি কাঠামো যা তার জ্যামিতিকে ধরে রাখে, ক্ষয় করে না এবং তাপীয় ড্রিফ্টের বিরুদ্ধে নিয়মিত পুনরায় ক্যালিব্রেশনের প্রয এমন একটি মেশিনের জন্য যা লক্ষ লক্ষ ডলার খরচ করতে পারে, স্থিতিশীলতার অর্থনীতি সিদ্ধান্তমূলক।

6. উত্পাদন এবং মানের বিবেচনা

সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলির জন্য কম্পোজিট অংশগুলি সাধারণ শিল্প কাজের চেয়ে অনেক কঠোর সহনশীলতা এবং ডকুমেন্টেশন মানে

• লেআপ নকশা: নিশ্চিত করুন যে ল্যামিনেটটি প্রকৃত লোড পথ এবং তাপীয় গ্রেডিয়েন্টের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, কেবল ধাতু অংশ থেকে

• সিটিই মিলান: যৌগিক সম্প্রসারণ সম্পূর্ণ অপারেটিং তাপমাত্রা ব্যান্ড জুড়ে রেফারেন্স কাঠামো বা ওয়েফারের সাথে ম

• রজন এবং আউটগ্যাসিং: কম আউটগ্যাসিং সহ একটি রজন সিস্টেম নির্বাচন করুন এবং এটি ক্লিনরুম এবং ভ্যাকুয়াম প্রয়োজনীয়তার বিরুদ্

• পরিষ্কার এবং ফিনিস: প্রান্ত সিলিং, পৃষ্ঠ চিকিত্সা এবং কণা নিয়ন্ত্রণ নির্দিষ্ট করুন যাতে অংশটি ত্রুটির উৎস হয়ে ওঠ

• মেট্রোলজি এবং ট্র্যাসেবিলিটি: নথিভুক্ত ফাইবার সামগ্রী, লেআপ সময়সূচী এবং ডেলিভারি অংশের জন্য ট্র্যাক করা যায় এমন মাত্রাগত পরিদর

• বন্ধন এবং বন্ধন: ধাতুগুলির সাথে গ্যালভানিক সংযোজন এড়াতে এবং তাপীয় সাইকেলিংয়ের উপর বোল্ট প্রিলোড স্থিতিশীল রাখতে

• মেরামত: যেখানে সম্ভব বন্ধিত প্যাচ মেরামতের পরিকল্পনা করুন, তাই একটি সামান্য ক্ষতির ঘটনা একটি ব্যয়বহুল সমাবেশ স্ক্র

7. পরবর্তী টুল প্রজন্মের আকৃতি প্রবণতা

বেশ কয়েকটি শক্তি কার্বন ফাইবারকে সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলিতে গভীরতরে চাপিয়ে দিচ্ছে। প্রথমটি হল প্রক্রিয়া নোডগুলির অবিরত সংকুচন, যা প্রতিটি প্রজন্মের ওভারলে এবং সমালোচনামূলক মাত্রার বাজেটকে কঠোর করে তোল দ্বিতীয়টি উচ্চ-এনএ ইউভি লিথোগ্রাফির উত্থান, যার বড় অপটিক্স এবং কঠোর সহনশীলতা মঞ্চ এবং ফ্রেম কঠোরতার উপর আরও বেশি তৃতীয়টি উন্নত প্যাকেজিং এবং 3 ডি ইন্টিগ্রেশনের বৃদ্ধি, যা ওয়েফার হ্যান্ডলিং এবং পরিদর্শন পদক্ষেপগুলিকে গুণিত করে এবং ত অবশেষে, যৌগিক সেমিকন্ডাক্টর এবং পাওয়ার ডিভাইস উত্পাদনের সম্প্রসারণ নতুন প্রক্রিয়া তাপমাত্রা এবং নতুন চেম্বার পরিবেশ নিয়ে আসে, কার্বন ফ প্রতিটি ক্ষেত্রে সক্ষম থিম একই: একটি উপাদান যা কঠোর, হালকা, মাত্রাগত স্থিতিশীল এবং পরিষ্কার।

সাংহাই ট্যানচেন নিউ ম্যাটারিয়াল টেকনোলজি উন্নত সরঞ্জাম প্রোগ্রামের পিছনে সম্পূর্ণ ফাইবার স্ট্যাক সরবরাহ করে কার্বন ফাইবার পূর্ববর্তী এবং ফিলামেন্ট, কার্বন ফাইবার স্টেপল, ফ্যাব্র কাজটি একটি প্রোটোটাইপ ওয়েফার পর্যায়, একটি মেট্রোলজি ফ্রেম পুনর্নির্মাণ বা হার্ডওয়্যার পরিচালনার জন্য একটি উত্পাদন প্রোগ্রাম হোক ন আমাদের কার্বন ফাইবার পণ্য পরিসীমা ব্রাউজ করুন অথবা আপনার পরবর্তী সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম প্রকল্পের স্পেস